[发明专利]太阳能电池光接收表面的UV固化在审
申请号: | 201711114424.0 | 申请日: | 2017-11-13 |
公开(公告)号: | CN108074990A | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 沈于甄;佩里纳·雅弗雷努;吉勒·奥拉夫·唐吉·西尔万·普兰;迈克尔·C·约翰逊;林承笵 | 申请(专利权)人: | 太阳能公司;道达尔销售服务公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/18 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 顾丽波;李荣胜 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本文描述了使用太阳能电池光接收表面的UV固化制造太阳能电池的方法,以及所得的太阳能电池。在一个实例中,制造太阳能电池的方法包括在硅基板的光接收表面上形成钝化介电层。该方法还包括在所述钝化介电层下形成抗反射涂层(ARC)。该方法还包括将所述抗反射涂层暴露于紫外(UV)辐射。该方法还包括在将所述抗反射涂层暴露于紫外辐射之后,对所述抗反射涂层进行热退火。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 抗反射涂层 光接收表面 介电层 钝化 紫外辐射 硅基板 热退火 暴露 制造 辐射 | ||
【主权项】:
1.一种制造太阳能电池的方法,所述方法包括:在硅基板的光接收表面上形成钝化介电层;在所述钝化介电层下形成抗反射涂层;将所述抗反射涂层暴露于紫外辐射;以及在将所述抗反射涂层暴露于紫外辐射之后,对所述抗反射涂层进行热退火。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的