[发明专利]一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统有效
| 申请号： | 201711115989.0 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107720757B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 丁小海;唐国强;王生红;蔡延国;宗冰;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴莎 |
| 地址： | 810007 青海省西*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅生产技术领域，公开了一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。多晶硅还原炉停炉冷却方法是利用被加热后的冷却气体对多晶硅还原炉进行吹扫，冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量。冷却气体的温度高于环境温度并低于还原炉中部的硅棒温度。这样经过预热的冷却气体与硅棒或者炉内部件的温差较小(相对环境气体)，在冷却过程中不容易产生炸裂。并且冷却气体的吹扫使得硅棒之间具有较快的气体流动，有利于冷却气体从还原炉中部的硅棒之间带走热量。多晶硅还原炉冷却系统包括了非接触式测温仪、加热装置、空气抽运泵、吹气装置以及连通以上各装置的管道。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅还原炉 冷却气体 硅棒 冷却系统 停炉冷却 还原炉 吹扫 非接触式测温 多晶硅生产 吹气装置 定向流动 环境气体 加热装置 冷却过程 炉内部件 气体流动 炸裂 空气抽 预热的 加热 连通 温差 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，其包括：在多晶硅还原炉钟罩取下的情况下，将冷却气体通入还原炉内，所述冷却气体由所述多晶硅还原炉的中部向四周吹扫，使所述冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量；其中，所述冷却气体的温度高于环境温度，所述冷却气体的温度低于最靠近多晶硅还原炉中部的硅棒的温度。
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