[发明专利]一种柔性可穿戴非晶碳基应力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711116770.2 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107957303A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 姜昱丞;王彬;刘国珍;赵润;高炬 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性可穿戴非晶碳基应力传感器及其制备方法。传感器的结构为以非晶碳a‑C薄膜/柔性衬底为功能材料,在a‑C薄膜的两端设置银电极，由导电胶引出。本发明提供的压力敏感材料的制备，以硅片为衬底，在衬底上生长氧化层为牺牲层，采用化学或物理的方法，在牺牲层上生长功能性薄膜材料；将柔性衬底粘贴于功能性薄膜表面，再采用酸腐蚀方法将牺牲层腐蚀后，得到一种柔性功能材料。本发明提供的应力传感器具有优异的灵敏度和可弯曲特性，抗疲劳性好；并且结构简单，成本低廉，使用方便、安全、可靠，可广泛用于可穿戴领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 穿戴 非晶碳基 应力 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性可穿戴非晶碳基应力传感器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：（1）以硅片为衬底，在衬底上生长氧化层为牺牲层；采用化学或物理的方法，在氧化层表面生长非晶碳a‑C薄膜；（2）将柔性衬底粘贴于a‑C薄膜表面，再采用酸腐蚀方法将牺牲层腐蚀后，得到一种a‑C薄膜/柔性衬底结构的柔性电子材料；（3）采用蒸发镀银方法在a‑C薄膜两端制备银电极，再将电极用导电胶带粘贴引出，得到一种柔性可穿戴非晶碳基应力传感器。
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