[发明专利]二亚乙基胺-(2-苯并三氮唑)-(2′-长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂及制备方法有效
申请号: | 201711119184.3 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN107903249B | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 李俊莉;张颖;程雯;黄婷;任海晶;王晓晖 | 申请(专利权)人: | 陕西省石油化工研究设计院 |
主分类号: | C07D405/14 | 分类号: | C07D405/14;C23F11/14 |
代理公司: | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人: | 高雪霞 |
地址: | 710054*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明公开了一种二亚乙基胺‑(2‑苯并三氮唑)‑(2′‑长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法,该缓蚀剂的结构式为 |
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搜索关键词: | 乙基 三氮唑 长碳链 烯烃 咪唑 啉缓蚀剂 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种二亚乙基胺‑(2‑苯并三氮唑)‑(2′‑长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂,其特征在于该缓蚀剂的结构式如下所示:
式中R代表10‑十九碳烯基、十五碳烯基、8,11‑十七碳二烯基、十一碳烯基、8‑十七碳烯基、10,13‑十九碳二烯基、8,11‑十五碳二烯基、12‑二十一碳烯基、10‑二十一碳烯基、9‑十六碳烯基中的任意一种。
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