[发明专利]LTPS薄膜晶体管、阵列基板及其制作方法、显示装置有效
| 申请号： | 201711121996.1 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN107910378B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 班圣光;曹占锋;姚琪;薛大鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种LTPS薄膜晶体管、阵列基板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域。其中，LTPS薄膜晶体管的制作方法，包括：通过一次构图工艺在衬底基板上形成遮光图形和所述LTPS薄膜晶体管的有源层，所述有源层在所述衬底基板上的正投影落入所述遮光图形在所述衬底基板上的正投影中，所述遮光图形采用半导体材料制成。本发明的技术方案能够降低低温多晶硅阵列基板的制作成本，有效提升低温多晶硅阵列基板的产能。 | ||
| 搜索关键词： | ltps 薄膜晶体管 阵列 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种LTPS薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括：通过一次构图工艺在衬底基板上形成遮光图形和所述LTPS薄膜晶体管的有源层，所述有源层在所述衬底基板上的正投影落入所述遮光图形在所述衬底基板上的正投影中，所述遮光图形采用半导体材料制成。
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