[发明专利]基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜

摘要

基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，属于自动控制及成像技术领域。包括光源组件、单模光纤耦合组件、光束扫描组件、反射式支架4‑1、信号采集组件和计算机，计算机控制光源组件发射的脉冲激光通过单模光纤耦合组件准直后进入光束扫描组件，光束扫描组件包括微机电扫描振镜3‑4和函数发生器3‑5，计算机通过函数发生器3‑5控制微机电扫描振镜3‑4转动，进入光束扫描组件的脉冲激光经微机电扫描振镜3‑4反射后再经过反射式支架4‑1与目标物体反应产生光声信号，光声信号经透光反声的薄片反射后被信号采集组件采集并传送到计算机进行保存和处理。本发明体积小、重量轻，具有较大的扫描范围和较高的扫描精度。

主权项

基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，包括光源组件、单模光纤耦合组件、光束扫描组件、反射式支架(4‑1)、信号采集组件和计算机，所述光束扫描组件包括微机电扫描振镜(3‑4)和函数发生器(3‑5)，所述函数发生器(3‑5)分别与所述计算机和所述微机电扫描振镜(3‑4)连接，所述计算机通过所述函数发生器(3‑5)控制所述微机电扫描振镜(3‑4)转动；所述计算机与所述光源组件和信号采集组件电气连接，控制所述光源组件发射脉冲激光和保存并处理所述信号采集组件采集的数据；所述反射式支架(4‑1)为内部充满透明的超声耦合液(4‑2)的封闭腔体，包括进光口(4‑5)和出光口(4‑4)，目标物体设置在所述出光口(4‑5)，所述反射式支架(4‑1)内设置有透光反声的薄片(4‑3)；所述光源组件发射的脉冲激光通过所述单模光纤耦合组件准直后进入所述光束扫描组件并照射到所述微机电扫描振镜(3‑4)表面，经所述微机电扫描振镜(3‑4)反射后从所述反射式支架(4‑1)的进光口(4‑5)进入所述反射式支架(4‑1)，从所述反射式支架(4‑1)的出光口(4‑4)射出并照射在目标物体表面产生光声信号；所述光声信号经过所述反射式支架(4‑1)内透光反声的薄片反射后被所述信号采集组件采集。