[发明专利]一种反应液自动回收系统及方法

摘要

本发明公开了一种反应液自动回收系统及方法，反应液自动回收系统包括：源瓶，用于存储反应液；输入管路，用于向源瓶中通入载气；输出管路，用于在工艺状态时向反应腔室通入由载气携带的源瓶中反应液的饱和蒸汽；回收管路，一端连接在所述输出管路上，用于在非工艺状态时回收所述输出管路中的饱和蒸汽。当反应腔室不需要反应物质时，反应液将会保存在存储瓶中，可有效利用源瓶中的反应物，避免浪费，从而降低了生产成本；当源瓶内反应液使用完时，无须将源瓶拆下换上装满反应液的新瓶，只需将保存在存储瓶中的反应液重新压回源瓶即可，从而延长了源瓶PM周期，提高了正常运行时间。

主权项

1.一种反应液自动回收系统，其特征在于，所述反应液自动回收系统包括：源瓶，所述源瓶用于存储反应液；输入管路，所述输入管路与所述源瓶连接，用于向所述源瓶中通入载气；输出管路，所述输出管路连接所述源瓶和反应腔室，用于在工艺状态时向反应腔室通入由载气携带的源瓶中反应液的饱和蒸汽；以及，回收管路，所述回收管路的一端连接在所述输出管路上，用于在非工艺状态时回收所述输出管路中的饱和蒸汽。