[发明专利]照明系统及光刻机有效
申请号: | 201711125161.3 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN109782543B | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 徐建旭;田毅强 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种照明系统,包括:光源组件、耦合透镜组、反射光阑和石英棒,光源组件包括光源和椭球碗,光源的光经椭球碗反射后依次经耦合透镜组和反射光阑至石英棒,反射光阑的反射面与石英棒的入光端面成一定夹角,穿过反射光阑的通光口的光束入射至石英棒,未穿过的光束经反射光阑反射后返回至椭球碗,经椭球碗再次反射后入射至石英棒。本发明实施例提供了一种照明系统及光刻机,照明系统包括:光源组件、耦合透镜组、反射光阑和石英棒,反射光阑放置与石英棒的入射端面成一定的夹角,反射光阑通光孔径之外的光,经反射光阑反射沿原路返回,再由椭球碗反射进入石英棒,在解决光瞳均匀性的同时提升石英棒出光口的照度。 | ||
搜索关键词: | 照明 系统 光刻 | ||
【主权项】:
1.一种照明系统,其特征在于,包括:光源组件、耦合透镜组、反射光阑和石英棒,所述光源组件包括光源和椭球碗,所述光源的光经所述椭球碗反射后依次经所述耦合透镜组和反射光阑至所述石英棒,所述反射光阑的反射面与所述石英棒的入光端面成一定夹角,穿过所述反射光阑的通光口的光束入射至石英棒,未穿过的光束经所述反射光阑反射后返回至所述椭球碗,经所述椭球碗再次反射后入射至所述石英棒。
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