[发明专利]介质窗组件及反应腔室有效
| 申请号： | 201711127873.9 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109801824B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王建龙 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了介质窗组件，包括第一介质窗和第二介质窗；所述第一介质窗与腔体壁形成封闭的腔室；所述第二介质窗叠置在所述第一介质窗的背离所述腔室的一面上。本发明还提供一种包括上述介质窗组件的反应腔室。本发明不仅降低介质窗更换成本，而且可提高介质窗更换或清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 组件 反应 | ||
【主权项】：
1.一种介质窗组件，其特征在于，所述介质窗组件包括第一介质窗和第二介质窗；所述第一介质窗与腔体壁形成封闭的腔室；所述第二介质窗叠置在所述第一介质窗的背离所述腔室的一面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711127873.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于冷阴极的多注高次模注波互作用结构
- 下一篇：加工设备
