[发明专利]一种集成式激光电离效应模拟系统在审
| 申请号： | 201711131410.X | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107907813A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李沫;孙鹏;黄锋;汤戈;王小凤;代刚;张健 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙)51211 | 代理人： | 蒋斯琪 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成式激光电离效应模拟系统，该系统将调整底座、光源、衰减与光束调整模块、显微观察模块及测试与存储模块一体化集成，光源可选择输出266nm、532nm和1064nm三个波段的激光，可满足不同半导体器件辐射电离效应模拟的需求，整个系统具有方便、快捷、准确、安全性高等特点，可有效降低半导体器件的试验成本，提高试验效率，缩短抗辐射加固的设计周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 激光 电离 效应 模拟 系统 | ||
【主权项】：
一种集成式激光电离效应模拟系统，其特征在于：包括调整底座（I）、光源（II）、衰减与光束调整模块（III）、显微观察模块（IV）、测试与存储模块（V）；其中：调整底座（I）用于稳定支撑整个模拟系统；光源（II）及衰减与光束调整模块（III）用于产生特定波长脉冲激光，并根据实际实验需求对单脉冲激光能量进行衰减；显微观察模块（IV）用于对半导体器件测试样品（20）进行成像，并对作用于半导体器件测试样品（20）的脉冲激光进行能量测量；测试与存储模块（V）用于采集并记录半导体器件测试样品（20）辐射电离效应的响应电信号，通过控制精密位移平台来精确控制光斑作用于半导体器件测试样品（20）上的位置。
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