[发明专利]电镀工艺的检测方法有效
| 申请号： | 201711131426.0 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109115860B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 黄永昌;卓瑞木;潘建勋;林群智 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/48 | 分类号： | G01N27/48 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;王芝艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供电镀工艺的检测方法，此检测方法包含将基底浸入电解质溶液中以实施电镀工艺，电解质溶液包含添加剂。此检测方法也包含将检测装置浸入电解质溶液中。此检测方法还包括将第一交流电(AC)或直流电(DC)施加于检测装置以检测添加剂的浓度。此外，检测方法包含将第二交流电和第二直流电的组合施加于检测装置以检验电解质溶液，检测出在电解质溶液中的杂质。此检测方法也包含以另一电解质溶液取代含有杂质的电解质溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 工艺 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电镀工艺的检测方法，包括：将一基底浸入一电解质溶液中以实施一电镀工艺，其中该电解质溶液包括一添加剂；将一检测装置浸入该电解质溶液中；将一第一交流电或直流电施加于该检测装置以检测该添加剂的浓度；将一第二交流电和一第二直流电的一组合施加于该检测装置以检验该电解质溶液，其中检测出在该电解质溶液中的一杂质；以及以一另一电解质溶液置换含有该杂质的该电解质溶液。
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