[发明专利]一种延长研磨垫修整盘使用寿命的方法及研磨垫修整盘在审
| 申请号： | 201711132945.9 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107900909A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 曹玉荣;李虎;张守龙;赵正元 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B53/12 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种延长研磨垫修整盘使用寿命的方法，应用于化学机械研磨机，其中，化学机械研磨机包括一研磨垫修整盘，化学机械研磨机内部设置有研磨垫，研磨垫修整盘连接驱动装置；具体方法如下步骤S1，于研磨垫修整盘的外缘增加一备用修整盘，备用修整盘与研磨垫设有预定距离；步骤S2，预先设定研磨垫修整盘的使用周期；步骤S3，研磨垫修整盘的使用周期到期，则驱动装置发出反馈信号；步骤S4，电脑端控制备用修整盘落下与研磨垫接触。本发明的技术方案有益效果在于公开了一种延长研磨垫修整盘使用寿命的方法及研磨垫修整盘，旨在实现提高研磨垫修整盘的利用率，并且延长使用寿命，减少修整盘的调制频率，提高生产效率，进而减少了经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 研磨 修整 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
一种延长研磨垫修整盘使用寿命的方法，应用于化学机械研磨机，其特征在于，所述化学机械研磨机包括一研磨垫修整盘，所述化学机械研磨机内部设置有研磨垫，所述研磨垫修整盘连接驱动装置；具体方法如下：步骤S1，于所述研磨垫修整盘的外缘增加一备用修整盘，所述备用修整盘与所述研磨垫设有预定距离；步骤S2，预先设定所述研磨垫修整盘的使用周期；步骤S3，所述研磨垫修整盘的使用周期到期，则所述驱动装置发出反馈信号；步骤S4，电脑端控制所述备用修整盘落下与所述研磨垫接触。
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