[发明专利]制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉在审
| 申请号： | 201711136155.8 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107699943A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 武鹏;王双丽;徐岩 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/02 | 分类号： | C30B11/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，或所述加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器，所述铸锭炉包括所述加热器。通过改变顶部加热器、侧部加热器和底部加热器的电阻分布情况，即所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低，所述底部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，从而实现电阻的分布不均匀，使得在制备晶体硅锭的过程中，能够调整长晶时的固液界面，使其固液界面变平。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 晶体 加热器 铸锭 | ||
【主权项】：
一种制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，其中所述顶部加热器和侧部加热器的电阻分布不均匀，所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低。
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