[发明专利]一种制备二硫化钼靶材的方法有效
| 申请号： | 201711140436.0 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107916404B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 崔玉青;席莎;武洲;安耿;朱琦;李晶;王娜 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710077 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备二硫化钼靶材的方法，该方法包括以下步骤：一、将二硫化钼粉末进行真空低温热处理；二、将真空低温热处理后的二硫化钼粉末进行球磨处理；三、将球磨处理后的二硫化钼粉末压制成二硫化钼坯料；四、将二硫化钼坯料装入包套中，抽真空焊封后进行热等静压处理，除去包套后得到二硫化钼靶材粗品；五、将二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗，最终得到二硫化钼靶材。本发明依次对二硫化钼粉末进行真空低温热处理和球磨，提高了二硫化钼粉末的质量纯度和可压性，然后采用压制与热等静压相结合的方法，提高了二硫化钼靶材的致密性和质量纯度，降低了热等静压的成型温度和时间，同时扩大了原料的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 二硫化钼 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备二硫化钼靶材的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将二硫化钼粉末进行真空低温热处理；所述真空低温热处理的真空度为1.1×10‑2Pa~4.8×10‑3Pa，温度为300℃~900℃，时间为15min~240min；步骤二、将步骤一中真空低温热处理后的二硫化钼粉末进行球磨处理；步骤三、将步骤二中球磨处理后的二硫化钼粉末压制成二硫化钼坯料；步骤四、将步骤三中得到的二硫化钼坯料装入包套中抽真空焊封，然后进行热等静压处理，除去包套后得到二硫化钼靶材粗品；所述热等静压处理的温度为500℃~1000℃，压力为50MPa~500MPa，时间为60min~240min；步骤五、将步骤四中得到的二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗，最终得到二硫化钼靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于金堆城钼业股份有限公司，未经金堆城钼业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711140436.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
