[发明专利]基于扫描电子显微镜测量侧壁倾斜角的方法有效
| 申请号： | 201711140470.8 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN108050991B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 屠礼明;周毅;邓常敏;张伟;刘公才 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于扫描电子显微镜测量侧壁倾斜角的方法，属于半导体技术领域。所述方法包括：将电子束沿竖直方向倾斜第一角度入射沟道，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第一图片，分析第一图片得到第一角度与预测量的侧壁倾斜角之间的第一关系表达式；将电子束沿竖直方向倾斜第二角度入射沟道，第二角度与第一角度不等，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第二图片，分析第二图片得到第二角度与预测量的侧壁倾斜角之间的第二关系表达式；根据第一关系表达式和第二关系表达式推算出预测量的侧壁倾斜角的大小。本发明中，不仅实现了侧壁倾斜角快速的在线无损测量，而且能够节约时间和成本，缩短研发周期，从而满足大规模的生产要求。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 扫描 电子显微镜 测量 侧壁 倾斜角 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于扫描电子显微镜测量侧壁倾斜角的方法，其特征在于，包括：将电子束沿竖直方向倾斜第一角度入射沟道，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第一图片，分析所述第一图片得到所述第一角度与预测量的侧壁倾斜角之间的第一关系表达式；将电子束沿竖直方向倾斜第二角度入射沟道，所述第二角度与所述第一角度不等，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第二图片，分析所述第二图片得到所述第二角度与预测量的侧壁倾斜角之间的第二关系表达式；根据所述第一关系表达式和所述第二关系表达式推算出预测量的侧壁倾斜角的大小。
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