[发明专利]一种工艺流程的控制方法及半导设备

摘要

本发明提供了一种工艺流程的控制方法及半导设备，应用于半导体设备中对工艺流程的控制，其中，将所有必选工艺段以及所有可选工艺段按照工艺流程的顺序形成一工艺流程链，具体包括以下步骤对工艺流程链中的每个可选工艺段定义对应的工作属性；判断工艺流程链中的每个可选工艺段的工作属性；根据每个必选工艺段以及每个可选工艺段对应的工作属性形成一执行工艺流程链表示工艺流程所要执行的工艺步骤。其技术方案的有益效果在于，克服现有技术中通过插入可选工艺段会出现参数出错导致工艺流程无法执行，以及插入的可选工艺段无法像必选工艺段一样具有设置工作状态的权限的缺陷。

主权项

一种工艺流程的控制方法，应用于半导体设备中对工艺流程的控制，所述工艺流程中包括多个工艺段，所述工艺段包括必选工艺段以及可选工艺段，其特征在于，将所有所述必选工艺段以及所有可选工艺段按照工艺流程的顺序形成一工艺流程链，具体包括以下步骤：步骤S1、对所述工艺流程链中的每个所述可选工艺段定义对应的工作属性；步骤S2、判断所述工艺流程链中的每个所述可选工艺段的工作属性；步骤S3、根据每个所述必选工艺段以及每个所述可选工艺段对应的所述工作属性形成一执行工艺流程链，所述执行工艺流程链表示工艺流程所要执行的工艺步骤。