[发明专利]石墨烯薄膜在转移中的化学除杂方法及其设备有效
| 申请号： | 201711142645.9 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108033444B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 李涛;张洪涛 | 申请（专利权）人： | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司;无锡第六元素电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/196 | 分类号： | C01B32/196;C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 肖淑芳;郝文博 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于石墨烯薄膜在转移中的连续除杂方法、设备、及石墨烯传移方法，其中，所述设备包括：传动装置、化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段，所述传动装置贯穿于化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段，从传动装置的行走方向的上游到下游依次为化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 薄膜 转移 中的 化学 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯薄膜在转移中的化学除杂方法，包括：先将生长有石墨烯的基底具有需要留存的石墨烯薄膜的一面覆盖一层保护膜；再加入除杂药水中进行化学腐蚀。
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