[发明专利]一种多层六方氮化硼的制备方法在审
| 申请号： | 201711143081.0 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107973280A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陈珊珊;应豪;王乐 | 申请（专利权）人： | 中国人民大学 |
| 主分类号： | C01B21/064 | 分类号： | C01B21/064;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人： | 关畅,王春霞 |
| 地址： | 100872 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层六方氮化硼的制备方法。它包括如下步骤将含硼元素的化合物和含氮元素的化合物和/或含硼元素和氮元素的化合物通过泡沫材料催化进行化学气相沉积反应，沉积在衬底上，即得到多层六方氮化硼。本发明制备方法简单易操作，能有效在生长衬底上制备出多层的六方氮化硼，本发明多层六方氮化硼具有更好的绝缘性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 氮化 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多层六方氮化硼的制备方法，包括如下步骤：将含硼元素的化合物和含氮元素的化合物和/或含硼元素和氮元素的化合物通过泡沫材料催化进行化学气相沉积反应，沉积在衬底上，即得到多层六方氮化硼。
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