[发明专利]固体材料粗糙表面声扰动的光学非接触检测装置及方法有效
| 申请号： | 201711146119.X | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN109799191B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 倪辰荫;阿雷克塞·罗莫诺索;钱嘉树;应恺宁;王曦彬;王昕悦;沈中华 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/47 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固体材料粗糙表面声扰动的光学非接触检测装置及方法，该装置包括检测连续激光源、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第三聚焦透镜、第四聚焦透镜、固体材料样品、数字微镜阵列、光阑、工业相机CCD、光电探测器、计算机、示波器。方法为：首先将一束连续检测激光聚焦于样品表面，使用数字微镜阵列搜集并均分反射的散射光斑；然后将声扰动引起的样品表面质点振动，转化为散射光斑在数字微镜上的移动；接着使用光电探测器接收数字微镜反射光斑的功率变化，最终实现粗糙表面声扰动的光学检测。本发明可实现对沿粗糙固体材料表面声扰动的非接触式检测。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 材料 粗糙 表面 扰动 光学 接触 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种固体材料粗糙表面声扰动的光学非接触检测装置，其特征在于，包括检测连续激光源(1)、第一聚焦透镜(2)、第二聚焦透镜(3)、第三聚焦透镜(4)、第四聚焦透镜(5)、固体材料样品(6)、数字微镜阵列(7)、光阑(8)、工业相机CCD(9)、光电探测器(10)、计算机(11)、示波器(12)；其中数字微镜阵列(7)与计算机(11)连接，工业相机CCD(9)连接计算机(11)以获取图像；所述检测连续激光源(1)发出的检测激光经过第一聚焦透镜(2)照射在固体材料样品(6)表面，反射的散射光斑经过第二聚焦透镜(3)聚焦后，照射在数字微镜阵列(7)表面：当数字微镜阵列(7)打开时，反射的散射光斑在微镜阵列表面反射形成多个规则排列的衍射光斑，通过第三聚焦透镜(4)聚焦，并利用光阑(8)选取其中亮度最高的衍射光斑，入射至工业相机CCD(9)光敏面，计算机(11)完成取像；当数字微镜阵列(7)关闭时，向上的反射光经第四聚焦透镜(5)聚焦后，入射至光电探测器(10)的光敏面，转换为电信号在示波器(12)中以波形显示，并传输至计算机(11)记录。
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