[发明专利]一种扩晶机

摘要

本发明公开了一种扩晶机，包括基座、内压圈、外压圈和限位机构，基座的上端设置有下压板，下压板的边缘铰接有上压板，下压板与上压板之间设置有锁紧机构，上压板与下压板的中部对应设置有圆孔，基座上设置有圆形扩晶盘，扩晶盘的下表面连接有气缸并通过气缸驱动其上下运动，扩晶盘内部设置有加热装置，扩晶盘上表面的边缘环绕设置有阶梯，内压圈的内圈与阶梯相配合，外压圈的内圈与内压圈的外圈相配合，限位机构包括竖直设置在基座上的支撑杆，以及水平可转动设置在支撑杆顶端的限位板，下压板的边缘延伸有安装板，锁紧机构包括设置在安装板上的四杆机构和压块。本发明的一种扩晶机，具有结构简单，可以精准控制晶片扩张程度等优点。

主权项

一种扩晶机，其特征在于，包括基座(1)、内压圈(2)、外压圈(3)和限位机构(4)，基座(1)的上端设置有下压板(5)，下压板(5)的边缘铰接有上压板(6)，下压板(5)与上压板(6)之间设置有锁紧机构(25)，上压板(6)与下压板(5)的中部对应设置有圆孔(7)，基座(1)上设置有可穿过圆孔(7)的圆形扩晶盘(8)，扩晶盘(8)的下表面连接有气缸(9)并通过气缸(9)驱动其上下运动，扩晶盘(8)内部设置有加热装置，扩晶盘(8)上表面的边缘环绕设置有阶梯(10)，内压圈(2)的内圈与阶梯(10)相配合，外压圈(3)的内圈与内压圈(2)的外圈相配合，限位机构(4)包括竖直设置在基座(1)上的支撑杆(11)，以及水平可转动设置在支撑杆(11)顶端的限位板(12)，下压板(5)的边缘延伸有安装板(17)，锁紧机构(25)包括一四杆机构，四杆机构包括固定设置在安装板(17)上的支承座(18)、与支承座(18)铰接的连接杆(19)和从动杆(20)，以及与连接杆(19)和从动杆(20)铰接的主动杆(21)，从动杆(20)上连接有一悬臂(22)，悬臂(22)上设置有压块(23)，主动杆(21)上设置有用于驱动其运动的把手(24)。