[发明专利]掩膜板的显影图形精度控制方法及其显影装置在审
| 申请号： | 201711147382.0 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107728437A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 叶小龙;侯广杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市龙图光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司44405 | 代理人： | 李想 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩膜板的显影图形精度控制方法及其显影装置。所述方法包括在显影过程中，使用两个光源发出的平行光照射掩膜板表面；所述显影过程具有确定的若干个显影参数；在预定的观察角度，获取掩膜板表面的扫描纹路随显影时间的变化规律；根据所述变化规律，确定与所述显影过程对应的显影时长。该控制方法采用的目视化控制，可以满足较高精度显影工艺需求，并且不受任何图形、曝光能量、材料类型的影响，具有增大显影工艺宽容性的良好效果。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 显影 图形 精度 控制 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种掩膜板的显影图形精度控制方法，其特征在于，包括：在显影过程中，使用两个光源发出的平行光照射掩膜板表面；所述显影过程具有确定的若干个显影参数；在预定的观察角度，获取掩膜板表面的扫描纹路随显影时间的变化规律；根据所述变化规律，确定与所述显影过程对应的显影时长。
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