[发明专利]一种利用羰基法生产镍导电薄膜的方法在审
申请号: | 201711148963.6 | 申请日: | 2017-11-17 |
公开(公告)号: | CN108010636A | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 王永前;肖冬明;马国生;王良;罗世铭;张华;刘洪彪;孙顺盈;陈菊华;李志鹏;陈旭军;白玉婷 | 申请(专利权)人: | 金川集团股份有限公司 |
主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00 |
代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 孙惠娜 |
地址: | 737103*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 一种利用羰基法生产镍导电薄膜的方法,采用羰基镍热分解的工艺制取镍导电薄膜,具体方法如下:羰基镍由储罐进入蒸发器中,对蒸发器进行加热,将羰基镍进行蒸发,羰基镍蒸汽和CO气体按一定比例进行混合后通入羰基镍分解容器中,羰基镍分解容器内安装被加热的基体材料,反应得到镍导电薄膜。本发明可以得到一定纯度、致密度的镍导电薄膜。根据羰基分解沉积的特点,易制成薄膜,易导电金属Cu、Ag及Au很难制造成薄膜,利用本方法可以在不同基体上,制取指定纹理的金属薄膜,方法生产的镍导电薄膜电导率较好。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 羰基 生产 导电 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
1.一种利用羰基法生产镍导电薄膜的方法,其特征在于采用羰基镍热分解的工艺制取镍导电薄膜,具体方法如下:羰基镍由储罐进入蒸发器中,对蒸发器进行加热,将羰基镍进行蒸发,羰基镍蒸汽和CO气体按一定比例进行混合后通入羰基镍分解容器中,羰基镍分解容器内安装被加热的基体材料,反应得到镍导电薄膜。
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