[发明专利]一种超纯水制备系统

摘要

本发明公开了一种超纯水制备系统，包括原水箱，砂过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器，一级反渗透装置，中间水箱，二级反渗透装置，第二中间水箱，EDI电除盐装置，纯水箱和微孔膜过滤器，原水经砂过滤器和活性炭过滤器，去除水中各种悬浮物、微生物、以及其他微细颗粒，然后经两级反渗透装置，对原水进行精度极高的过滤，脱盐率可达到95%以上，最后经EDI电除盐装置，制备出电阻率要求在5‑18.2MΩ•cm(25℃)范围的纯水。本发明可制备出高质量的超纯水，可广泛用于制药工业、微电子工业、发电工业和实验室、特殊组件的表面清洗、表面涂装、电解工业和化工工业。

主权项

一种超纯水制备系统，其特征在于，包括原水箱，砂过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器，一级反渗透装置，中间水箱，二级反渗透装置，第二中间水箱，EDI 电除盐装置，纯水箱和微孔膜过滤器；所述原水箱与砂过滤器通过原水泵连接；所述砂过滤器和活性炭过滤器直接通过管道连接；所述活性炭过滤器和精密过滤器直接通过管道连接；所述精密过滤器和一级反渗透装置通过高压泵连接；所述一级反渗透装置和中间水箱直接通过管道连接；所述中间水箱和二级反渗透装置通过二级高压泵连接；所述二级反渗透装置和第二中间水箱直接通过管道连接；所述第二中间水箱和EDI 电除盐装置通过增压泵连接；所述EDI 电除盐装置和纯水箱直接通过管道连接；所述纯水箱和微孔膜过滤器通过输送泵连接。