[发明专利]基板夹紧装置

摘要

本发明涉及显示器制造领域，一种基板夹紧装置，将基板放置于台车上，利用设置于台车上的夹持臂来固定基板，夹持臂通过旋转升降机构来实现一边旋转一边上下运动，从而实现对基板的夹紧和解脱动作。整个夹持过程对基板的冲击小，且方便基板的拿取。而设置于基板四周，且两两对称设置的夹紧臂可以保持基板的受力均匀，夹持更可靠。

主权项

1.一种基板夹紧装置，用于将所述基板固定在溅射机的台车上，其特征在于：包括夹持臂、托盘和连接于托盘底部的升降驱动装置，所述升降驱动装置用于带动所述托盘相对于所述台车上下运动；所述夹持臂设于所述台车上并围设成收容空间，所述收容空间用于容置所述基板，所述夹持臂包括支架和夹爪，所述支架通过旋转升降机构连接于所述台车上，用于带动所述夹爪同时做旋转和升降运动；所述夹爪在旋转下降运动后与所述基板上表面发生接触，用于夹紧放置于所述基板；所述托盘位于所述台车下方，所述托盘上设有第一顶杆和第二顶杆；所述第一顶杆与所述夹持臂配合，用于推动所述夹持臂向上运动；所述第二顶杆用于推动所述基板向上运动。