[发明专利]一种离子束溅射辅助镀膜机有效
| 申请号： | 201711160242.7 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107988579B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王三胜;刘静 | 申请（专利权）人： | 北京鼎臣世纪超导科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11465 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李冉<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种离子束溅射辅助镀膜机，包括真空腔室、一个主离子源和中和装置；所述真空腔室的一侧设置所述主离子源；所述主离子源由阴极灯丝组成，所述阴极灯丝为φ0.2且缠绕成弹簧形状，直径为1.0mm，缠绕5‑10圈；所述中和装置安装在所述真空腔室与所述主离子源靠近的真空腔室内侧壁上；所述中和装置内设有中和灯丝。本发明实施例通过更改主离子源灯丝结构，添加了中和装置，提高了离子束溅射辅助镀膜机的工作时长，大大提高了工作效率，并且可镀的薄膜的厚度增加到十微米以上，并且保证了薄膜不会因为厚度的增加而产生应力使得薄膜剥落。 | ||
| 搜索关键词： | 主离子源 中和装置 真空腔室 薄膜 离子束溅射 辅助镀膜 阴极灯丝 缠绕 弹簧形状 灯丝结构 工作时长 工作效率 厚度增加 室内侧壁 中和灯丝 真空腔 剥落 保证 | ||
【主权项】：
1.一种离子束溅射辅助镀膜机，其特征在于，包括真空腔室(1)、一个主离子源(2)和中和装置(3)；/n所述真空腔室(1)的一侧设置所述主离子源(2)；/n所述主离子源(2)由阴极灯丝组成，所述阴极灯丝为φ0.2且缠绕成弹簧形状，缠绕5-10圈，直径为1.0mm；/n所述中和装置(3)安装在所述真空腔室(1)与所述主离子源(2)靠近的真空腔室(1)内侧壁上；/n所述中和装置(3)内设有中和灯丝(31)；/n所述中和装置(3)还包括：外壳(32)、偏置电源(33)、阳极电源(34)和阴极电源(35)；/n所述外壳(32)上设有通道(36)；/n所述偏置电源(33)的正极接地，负极与所述阳极电源(34)的正极相连接；/n所述阳极电源(34)的正极与所述外壳(32)连接，负极与所述中和灯丝(31)的中段位置连接；/n所述阴极电源(35)的两端分别连接所述中和灯丝(31)的两端；所述中和灯丝(31)呈弹簧状。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京鼎臣世纪超导科技有限公司，未经北京鼎臣世纪超导科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711160242.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种反射隔热涂料
- 下一篇：用于机械手表谐振器的条状件的保护装置
- 同类专利
- 专利分类
