[发明专利]一种用于长晶的坩埚装置在审
| 申请号： | 201711160851.2 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109811401A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于长晶的坩埚装置，所述坩埚装置包括：支撑装置；石英坩埚，所述石英坩埚设置于所述支撑装置内部，所述石英坩埚的边缘高于所述支撑装置的边缘；以及防变形环，所述防变形环具有凹槽，所述石英坩埚的边缘卡合在所述防变形环的所述凹槽中，所述防变形环由耐高温材料制成。本发明提供的用于长晶的坩埚装置，其中的防变形环能够避免石英坩埚发生塌边，对热场温度分布影响较小，并且与石英坩埚及支撑装置配合良好。 | ||
| 搜索关键词： | 石英坩埚 防变形 支撑装置 坩埚装置 耐高温材料 温度分布 边缘卡 热场 塌边 配合 | ||
【主权项】：
1.一种用于长晶的坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置包括：支撑装置；石英坩埚，所述石英坩埚设置于所述支撑装置内部，所述石英坩埚的边缘高于所述支撑装置的边缘；以及防变形环，所述防变形环具有凹槽，所述石英坩埚的边缘卡合在所述防变形环的所述凹槽中，所述防变形环由耐高温材料制成。
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