[发明专利]一种MicroLED的巨量转移装置及转移方法在审

专利信息
申请号: 201711162098.0 申请日: 2017-11-21
公开(公告)号: CN107910413A 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 陈祖辉;严群;周雄图;郭太良;张永爱;林金堂;叶芸 申请(专利权)人: 福州大学
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司35100 代理人: 蔡学俊,修斯文
地址: 350108 福建省福州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提出一种MicroLED的巨量转移方法,包括以下步骤;S1、按上下沿非对称的MicroLED的俯视向形状,选用对应的装载模具,所述模具的装载面处密集布设用于嵌入MicroLED的装载槽;装载槽的俯视向形状与MicroLED的俯视向形状匹配;S2、固定装载模具,在装载模具处连接震荡源,在装载模具侧设置吹风装置;把MicroLED批量倾倒在装载面上;S3、启动震荡源和吹风装置;使MicroLED在震荡力或风力作用下落入装载槽;S4、以风力将装载面处未落入装载槽的MicroLED吹出装载面;所述转移方法在步骤S4后,还依次包括以下步骤;S5、以光检器件或红外检测器件对装载面进行检测,判断未嵌入MicroLED的装载槽位置;S6、以机械手向空置的装载槽内填入MicroLED;本发明工艺简单,良率高,成本低。
搜索关键词: 一种 microled 巨量 转移 装置 方法
【主权项】:
一种MicroLED的巨量转移方法,用于俯视向形状的上下沿非对称的MicroLED的批量转移,其特征在于:所述转移方法依次包括以下步骤;S1、按上下沿非对称的MicroLED的俯视向形状,选用对应的装载模具,所述模具的装载面处密集布设用于嵌入MicroLED的装载槽;装载槽的俯视向形状与MicroLED的俯视向形状匹配;S2、固定装载模具,在装载模具处连接震荡源,在装载模具侧设置吹风装置;把MicroLED批量倾倒在装载面上;S3、启动震荡源和吹风装置;使MicroLED在震荡力或风力作用下落入装载槽。
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