[发明专利]一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶

摘要

本发明公开了一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶，所述生物基成膜树脂由苯乙烯衍生物与胆酸衍生物通过自由基聚合反应、醇解反应制成；将所述生物基成膜树脂与光产酸剂、助剂、溶剂等混合，用于制备365nm及248nm光刻胶。本发明在常规的聚对羟基苯乙烯成膜树脂中引入了含天然产物胆酸的可聚合单体，形成一类新的改良的成膜树脂，这种新的成膜树脂可以增加光刻胶的紫外透明性，提高其光敏性能，且大的环状结构可以增大碳的致密性，减低聚合链的自由体积，提高耐热性能，增加其抗蚀刻能力；且大的侧链可以改善酸扩散问题，提高溶解反差，降低图像的边缘粗糙度。

主权项

1.一种生物基成膜树脂，其特征在于所述成膜树脂由苯乙烯衍生物与胆酸衍生物通过自由基聚合反应、醇解反应制成；所述苯乙烯衍生物结构如通式(I)所示：通式(I)中，R₁为乙酰基、丙酰基中的一种或两种；m为1或2；所述胆酸衍生物结构如通式(II)所示：通式(II)中，所述R₂表示为‑H或甲基；R₃、R₄分别独立地表示为‑H或‑OH；R₅表示为缩醛、缩酮、叔丁基、叔丁氧羰基、呋喃基、四氢呋喃基、二氢吡喃基、α‑甲基苄基、硅烷基、丁内酯基、戊内酯基或C_1‑10的直链、支链烷或环烷烃基。