[发明专利]硅片水下自动取片插片机

摘要

本发明公开了一种能够代替人工实现硅片脱胶后自动插片的硅片水下自动取片插片机。该硅片水下自动取片插片机，包括机架，所述机架上设置有安装平台，所述安装平台上设置有相互平行的花篮传送带和硅片传送带；所述机架的一端设置有清洗箱，另一端设置有竖向安装支架；所述清洗箱内设置有硅片上料装置；所述竖向安装支架上设置有横向滑动装置，所述横向滑动装置上连接有竖向的花篮夹爪，所述花篮夹爪通过升降装置与横向滑动装置连接；所述安装平台位于竖向安装支架的一端设置有通孔；所述通孔位于花篮夹爪正下方，且位于硅片传送带的一端；所述通孔与花篮夹爪匹配。采用该硅片水下自动取片插片机，能够实现自动化，降低成本，提高产品质量。

主权项

硅片水下自动取片插片机，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)上设置有安装平台(2)，所述安装平台(2)上设置有相互平行的花篮传送带(4)和硅片传送带(5)；所述机架(1)的一端设置有清洗箱(7)，另一端设置有竖向安装支架(3)；所述清洗箱(7)内设置有将硅片输送至硅片传送带(5)的硅片上料装置(6)；所述竖向安装支架(3)上设置有横向滑动装置(31)，所述横向滑动装置(31)上连接有竖向的花篮夹爪(8)，所述花篮夹爪(8)通过升降装置(9)与横向滑动装置(31)连接；所述安装平台(2)位于竖向安装支架(3)的一端设置有通孔(21)；所述通孔(21)位于花篮夹爪(8)正下方，且位于硅片传送带(5)的一端；所述通孔(21)与花篮夹爪(8)匹配；所述硅片上料装置(6)包括支撑座(68)，所述支撑座(68)上设置有硅片输送带(61)以及安装支架(69)；所述硅片输送带(61)倾斜设置；所述安装支架(69)位于硅片输送带(61)的一端；所述安装支架(69)上设置有与硅片输送带(62)平行的固定板(62)；所述固定板(62)延伸出硅片输送带(61)；所述固定板(62)一端设置有液压泵驱动的第一滚轮(65)、另一端设置有液压泵驱动的第二滚轮(64)；所述第一滚轮(65)与第二滚轮(64)之间设置有传送皮带；所述固定板(62)的中间位置设置有吸盘(63)；所述固定板(62)下方设置硅片装料框(66)；所述硅片装料框(66)前端设置有支持板，所述支撑板的两侧中至少一侧设置有喷头(612)；所述喷头(612)的喷射中心位于硅片输送带(61)上表面的长度延长线上；所述硅片装料框(66)底面的靠近硅片输送带(61)的一端设置有沿硅片装料框(66)长度方向延伸的滑槽(661)；所述支撑座(68)下方设置有顶升装置(67)，所述顶升装置(67)具有顶杆(610)，所述顶杆(610)穿过支撑座(68)延伸到滑槽(661)内；所述硅片输送带(61)的一端与硅片传动带(31)的一端对齐。