[发明专利]测试机台及测试方法在审
| 申请号： | 201711165199.3 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN107942222A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 张藏文;朱鹏 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 徐文欣,吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试机台及测试方法，测试机台包括探针台，所述探针台中具有第一腔体，所述第一腔体中具有托盘，所述托盘用于吸附晶圆，所述晶圆包括相对的测试面和背面，所述托盘包括与晶圆的背面接触的第一吸附面，所述托盘的第一吸附面垂直于水平面，所述探针台侧壁中具有开口，所述开口暴露出所述托盘的测试面；探针卡，所述探针卡用于与所述托盘第一吸附面的晶圆测试面接触，从而对晶圆进行测试，所述探针卡包括用于与晶圆测试面接触的探针面，所述探针面朝向所述开口。所述测试机台能够减少晶圆的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 机台 方法 | ||
【主权项】：
一种测试机台，其特征在于，包括：探针台，所述探针台中具有第一腔体；位于所述第一腔体中的托盘，所述托盘用于吸附晶圆，所述晶圆包括相对的测试面和背面，所述托盘包括与晶圆的背面接触的第一吸附面，所述托盘的第一吸附面垂直于水平面，所述探针台侧壁中具有开口，所述开口暴露出所述托盘；位于所述探针台外侧的探针卡，所述探针卡包括探针面，所述探针面朝向所述开口，所述探针面用于与晶圆测试面接触。
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