[发明专利]一种压电谐振器的制备方法及压电谐振器在审
| 申请号： | 201711172385.X | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN107947750A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 周燕红 | 申请（专利权）人： | 周燕红 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/08;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司11659 | 代理人： | 徐鹏飞 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种压电谐振器的制备方法及压电谐振器，其方法具体包括在第一衬底上生长材料层；在第二衬底的一侧平面上形成一个凹槽；将所述第一衬底和其上生长的所述材料层与所述第二衬底的一侧表面固定形成空腔；将所述第一衬底与其上生长的所述材料层剥离。本发明实施例通过将第一衬底和其上生长的材料层倒装固定于第二衬底上，在材料层覆盖在第二衬底上形成空腔，这样可以使得第一电极和第二电极之间将声波可以进行全反射，避免能量的泄露，同时降低了带有空腔的压电谐振器的制作难度，改善了压电膜的品质；降低了插入损耗，提高Q值和机电耦合系数，从而大幅度的提高了压电谐振器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压电谐振器的制备方法，其特征在于，包括：在第一衬底上生长材料层；在第二衬底的一侧平面上形成一个凹槽；将所述第一衬底和其上生长的所述材料层与所述第二衬底的一侧表面固定形成空腔；将所述第一衬底与其上生长的所述材料层剥离。
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