[发明专利]投影式复检机及其校正方法在审

专利信息
申请号: 201711174392.3 申请日: 2017-11-22
公开(公告)号: CN108007942A 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 汪光夏;呂彥德;李建翰;何羽立 申请(专利权)人: 牧德科技股份有限公司
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 段建军
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提出一种投影式复检机及其补偿校正方法,使得该投影式复检机在不同的操作环境中,均能藉由该补偿校正方法对投射出的图像予以补偿修正,提供操作人员在复检时能够在待复检物上更快速地找出需确认是否为真实缺陷的位置。
搜索关键词: 投影 复检 及其 校正 方法
【主权项】:
1.一种投影式复检机,包含:显示单元,可用于显示理论值图像;指令输入装置,可用于选取理论值图像及待复检物上相对应之至少2点;运算单元,其根据理论值图像及待复检物上选定之该至少2点计算校正量;及投影单元,用以输出校正后的图像。
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