[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201711176490.0 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN107815649B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 杨成发;尹志;王琦;黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法，包括蒸镀基板载具，所述蒸镀基板载具用于承载蒸镀基板，所述蒸镀基板载具上蒸镀基板所在的区域上方设有电磁模块，所述电磁模块包括多个电磁铁单元，所述多个电磁铁单元用于按照预定的顺序进行通电。根据本申请实施例提供的技术方案，通过设置多个电磁铁单元对金属掩膜板进行吸附，能够解决金属掩膜板整体被吸附导致褶皱或者褶皱得不到释放的问题，同时，电磁铁单元可以更好的进行吸附强度和开关控制，能够提高蒸镀基板上图案的位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀基板 电磁铁单元 吸附 载具 褶皱 金属掩膜板 电磁模块 蒸镀装置 蒸镀 开关控制 申请 通电 承载 图案 释放 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，包括蒸镀基板载具，所述蒸镀基板载具用于承载蒸镀基板，其特征在于，所述蒸镀基板载具上蒸镀基板所在的区域上方设置电磁模块，所述电磁模块包括多个电磁铁单元，所述多个电磁铁单元用于按照预定的顺序进行通电；还包括金属掩膜板载具，用于承载金属掩膜板，所述金属掩膜板包括蒸镀有效区，所述蒸镀有效区正上方的多个电磁铁单元用于由中心向四周顺次导通吸附所述金属掩膜板。
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