[发明专利]以基本水平的侧视图对扫描探针显微镜的试样和探针之间的间隙成像有效
| 申请号： | 201711176726.0 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108089029B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·科勒;阿尔贝托·戈麦斯-卡萨多;马库斯·布兰德纳 | 申请（专利权）人： | 安东帕有限责任公司 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王晖;吴莎 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于通过使探针(11)和试样(6)相对于彼此移动来分析试样(6)的扫描探针显微镜(1)，其中该扫描探针显微镜(1)包括检测单元(60)，该检测单元用于以基本上水平的侧视图检测试样(6)和探针(11)之间的间隙(62)的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 基本 水平 侧视图 扫描 探针 显微镜 试样 之间 间隙 成像 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针显微镜(1)，特别是一种原子力显微镜，用于通过使探针(11)和试样(6)相对于彼此移动来分析所述试样(6)，其中所述扫描探针显微镜(1)包括检测单元(60)，所述检测单元用于以基本上水平的侧视图检测所述试样(6)和所述探针(11)之间的间隙(62)的图像。
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