[发明专利]一种激光薄膜及其制备方法和应用有效
申请号: | 201711177793.4 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN107966750B | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 卫耀伟;许乔;张清华;王建;王震;吴倩;张飞;潘峰 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G02B1/10 | 分类号: | G02B1/10;C23C16/40;C23C16/455 |
代理公司: | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 李进 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种激光薄膜及其制备方法和应用,涉及光学薄膜技术领域。一种激光薄膜的制备方法,包括:以HfCl | ||
搜索关键词: | 一种 激光 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种激光薄膜的制备方法,其特征在于,包括:以HfCl
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