[发明专利]防黏板结构

摘要

一种防黏板结构，应用于曝光装置，所述防黏板结构用于对一待曝光件进行曝光作业，防黏板结构包含：抵压组件、曝光光源及至少一个吹气模块。抵压组件包含有透光板体，抵压组件能受控制模块的控制而选择性地向承载件靠近或远离，承载件用于承载待曝光件。曝光光源设置于抵压组件，且曝光光源所产生的光束能穿过透光板体。至少一个吹气模块能受控制模块控制而选择性地吹气。其中，当待曝光件贴附于抵压组件时，控制模块能控制吹气模块吹气，以使待曝光件与抵压组件相互分离。通过所述吹气模块与所述抵压组件的配合，可以有效降低待曝光件在完成曝光作业后，贴附于抵压组件上的机率，以降低因为待曝光件贴附于抵压组件上而造成后续作业上困难的问题。

主权项

1.一种防黏板结构，其特征在于，所述防黏板结构应用于一曝光装置，所述防黏板结构用于对一待曝光件进行曝光作业，所述防黏板结构包含：一抵压组件，包含有一透光板体，所述抵压组件能受一控制模块的控制而选择性地向一承载件靠近或远离，所述承载件用于承载所述待曝光件；一曝光光源，设置于所述抵压组件，且所述曝光光源所产生的光束能穿过所述透光板体；以及至少一个吹气模块，能受所述控制模块的控制而选择性地吹气；其中，当所述待曝光件贴附于所述抵压组件时，所述控制模块能控制所述吹气模块吹气，以使所述待曝光件与所述抵压组件相互分离。