[发明专利]阵列基板、显示面板及阵列基板的制备方法在审
申请号: | 201711180716.4 | 申请日: | 2017-11-23 |
公开(公告)号: | CN107968096A | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 王学雷;朱景河;黄伟东;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 叶剑 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种阵列基板、显示面板及阵列基板的制备方法,阵列基板包括基板;形成于基板上的栅极;形成于栅极上的绝缘层;形成于绝缘层上的有源层,其中,有源层为铟镓锌氧化物;形成于有源层上的复合金属层,复合金属层包括与有源层连接的氧化铟锡膜层以及与氧化铟锡膜层连接的金属膜层,其中,金属膜层于显示区内开设有通口,氧化铟锡膜层与显示区对应的部分为像素层。以铟镓锌氧化物制备有源层,使得有源层与含有氧化铟锡膜层的源/漏极更好地接触,有效减小了接触势垒,使得阵列基板的电子迁移率得到提高;另一方面,将复合金属层中的氧化铟锡膜层作为像素层,能够减少工序,进而有效提高生产效率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 阵列 显示 面板 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种阵列基板,其特征在于,包括:基板;形成于所述基板上的栅极;形成于所述栅极上的绝缘层;形成于所述绝缘层上的有源层,其中,所述有源层为铟镓锌氧化物;形成于所述有源层上的复合金属层,所述复合金属层包括与所述有源层连接的氧化铟锡膜层以及与所述氧化铟锡膜层连接的金属膜层,其中,所述金属膜层于显示区内开设有通口,所述氧化铟锡膜层与所述显示区对应的部分为像素层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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