[发明专利]同批次制备多种不同成分含量的合成材料的方法在审
| 申请号： | 201711183055.0 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108193175A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 胡凯;张晓军;辛安玲玲 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种同批次制备多种不同成分含量的合成材料的方法，该方法的步骤包括：提供激光发生器，并以指定强度发射激光射线；在真空条件下，控制激光射线依次循环向预先准备的不同位置的多种具有不同材料成分的靶材聚焦并照射指定时间间隔；提供一正对靶材设置的基板，靶材经激光射线照射后溅射出靶材原子，并沉积到基板上，使所述基板上形成的每种材料具有相同的多种组分并且每种组分含量比值不同。通过本发明，能够在不降低激光器可调能量的最大值的情况下实现激光的分时切换，溅射多个靶材，以实现同批次生成多种不同成分含量的合成材料的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 合成材料 基板 激光射线 溅射 制备 照射 发射激光射线 激光发生器 靶材原子 分时切换 真空条件 激光器 可调 正对 沉积 激光 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种同批次制备多种不同成分含量的合成材料的方法，其特征在于，包括：提供激光发生器，并以指定强度发射激光射线；在真空条件下，控制所述激光射线依次循环向预先准备的不同位置的多种具有不同材料成分的靶材聚焦并照射指定时间间隔；其中，所述多种靶材的材料为所述合成材料的组成成分；提供一正对所述靶材设置的基板，所述靶材经激光射线照射后溅射出靶材原子，并沉积到所述基板上，且使所述基板上形成的每种材料具有相同的多种组分并且每种组分含量比值不同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市矩阵多元科技有限公司，未经深圳市矩阵多元科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711183055.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
