[发明专利]一种真空设备压强调控系统及真空设备有效

专利信息
申请号: 201711183730.X 申请日: 2017-11-23
公开(公告)号: CN107675145B 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 彭泽云;胡祥龙;戴煜 申请(专利权)人: 湖南顶立科技有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满
地址: 410118 湖南省长*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 本申请公开了一种真空设备压强调控系统及真空设备,该装置包括真空炉体压强获取管路,抽真空管路和压强调控管路;真空炉体压强获取管路包括与真空炉体相连的第一电磁阀、用于获取真空炉体产品处理室的压强P1的第一薄膜规;与真空炉体相连的第二电磁阀、用于获取真空炉体保温层和产品处理室之间的压强P2的第二薄膜规;抽真空管路用于抽取产品处理室内的尾气;压强调控管路用于向抽真空管路通入第一工艺气体,调节P1和P2之间的压强差,以实现真空炉体产品处理室内外压强差的恒定;包括与第一气动球阀相连的第一隔膜阀、与第一工艺气体的进气口相连的第一质量流量计。本申请实现产品处理室内外压强差的恒定,从而获得质量更高的产品。
搜索关键词: 真空炉体 压强 压强调控 真空设备 抽真空管路 产品处理 压强差 恒定 产品处理室 工艺气体 薄膜规 室内外 进气口 第一电磁阀 质量流量计 气动球阀 保温层 电磁阀 隔膜阀 申请 抽取 尾气 室内
【主权项】:
1.一种真空设备压强调控系统,其特征在于,包括真空炉体压强获取管路,抽真空管路和压强调控管路;其中,所述真空炉体压强获取管路包括:与所述真空炉体相连的第一电磁阀、与所述第一电磁阀相连的,用于获取所述真空炉体产品处理室的压强P1的第一薄膜规、与所述真空炉体相连的第二电磁阀、与所述第二电磁阀相连的,用于获取所述真空炉体保温层和所述产品处理室之间的压强P2的第二薄膜规;所述抽真空管路用于抽取所述产品处理室内的尾气,包括:与所述真空炉体相连的第一气动球阀、与所述第一气动球阀相连的第二气动球阀、与所述第二气动球阀相连的真空波纹管、与所述真空波纹管相连的压差阀、与所述压差阀相连的真空泵;所述压强调控管路用于向所述抽真空管路通入第一工艺气体,调节所述P1和所述P2之间的压强差,以实现所述真空炉体所述产品处理室内外压强差的恒定;包括:与所述第一气动球阀相连的第一隔膜阀、与所述第一隔膜阀相连的第一质量流量计;其中,所述第一质量流量计与第一工艺气体的进气口相连;所述第一电磁阀、所述第二电磁阀包括直动式电磁阀、分布直动式电磁阀或先导式电磁阀;所述第一薄膜规和第二薄膜规包括APR压阻规或CMR薄膜规;所述真空泵包括机械泵,所述第一气动球阀、所述第二气动球阀的球体为浮动球或固定球或弹性球。
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