[发明专利]一种硅微纳米绒面制备方法在审
| 申请号： | 201711187658.8 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108221056A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 彭奎庆;付浩鑫;勾宪芳;王江;霍晨亮 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学;中节能太阳能科技（镇江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B33/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅微纳米绒面制备方法。本发明将金属催化硅腐蚀技术与碱腐蚀技术有效结合，可以实现多种形貌硅微纳米绒面结构(如洞和倒金字塔)的规模化制备。所制备的硅微纳米绒面结构在太阳能电池、气敏元件以及活性表面增强拉曼光谱术衬底等领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 微纳米 制备 绒面结构 绒面 金属催化硅腐蚀技术 形貌 拉曼光谱术 太阳能电池 倒金字塔 活性表面 气敏元件 有效结合 规模化 碱腐蚀 衬底 应用 | ||
【主权项】：
1.一种硅微纳米绒面制备方法，其特征在于：所述方法按如下步骤进行，将表面镀有贵金属颗粒膜的硅片放置在25‑80摄氏度含有氧气或臭氧的氢氟酸蒸汽中5‑30分钟，将硅片取出放入硝酸溶液中去除贵金属颗粒膜后，浸入碱溶液中腐蚀2‑10分钟，即可获得硅微纳米绒面。
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