[发明专利]一种进气机构

摘要

本发明公开了一种进气机构，用于向腔室内通入反应气体，进气机构包括源进气块，源进气块设于腔室侧壁上方的凹槽内，源进气块和腔室侧壁的上表面的至少一部分覆盖有上盖，源进气块与上盖之间、上盖与腔室侧壁之间均采用密封圈进行密封，源进气块的下表面与凹槽底面之间设有弹性组件，通过调整弹性组件的压缩量，可以调整源进气块与上盖之间密封圈表面的压力，实现源进气块与上盖、上盖与腔室侧壁之间的密封，从而可以在一定范围内纠正源进气块、上盖、腔室之间在设计、加工、安装上的误差，节约成本，同时该机构具备在线调整的能力，可有效节省调试、检漏时间。

主权项

1.一种进气机构，用于向腔室内通入反应气体，所述进气机构包括源进气块，所述源进气块设于腔室侧壁上方的凹槽内，所述源进气块和所述腔室侧壁的上表面的至少一部分覆盖有上盖，所述源进气块与上盖之间、上盖与腔室侧壁之间均采用密封圈进行密封，其特征在于，所述源进气块的下表面与所述凹槽底面之间设有弹性组件，通过调整所述弹性组件的压缩量，以调整所述源进气块与上盖之间密封圈表面的压力，实现源进气块与上盖、上盖与腔室侧壁之间的密封。