[发明专利]双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器及扫描探针显微镜在审
| 申请号： | 201711188898.X | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108089030A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 葛威锋;陆轻铀;张晶 | 申请（专利权）人： | 合肥中科微力科技有限公司;中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器及扫描探针显微镜，包括两个压电管，两个压电管共轴地相互嵌套在一起，内压电管的两端分别与外压电管的两端相互固定，形成双管嵌套机械并联结构，这相当于增加了扫描器的有效机械壁厚，使其更加坚固、刚性强，进而增强了扫描器的抗震性和稳定性，非常适合于极端与恶劣环境下的扫描成像；同时，内外压电管又能在Z方向同步伸长或缩短，使得本发明的压电扫描器在Z方向上的压电伸缩长度并不会因此而减少，因而依然能够满足扫描探针显微镜要求其压电扫描器在Z方向伸缩长度足够大的必要条件。 | ||
| 搜索关键词： | 压电管 嵌套 扫描器 扫描探针显微镜 压电扫描器 高稳定 并联 抗震性 并联结构 恶劣环境 内压电管 扫描成像 外压电管 压电伸缩 有效机械 刚性强 伸长 伸缩 壁厚 共轴 双管 必要条件 坚固 | ||
【主权项】：
1.一种双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，包括两个压电管，其特征是所述两个压电管共轴地相互嵌套，套在外面的压电管为外压电管，套在里面的压电管为内压电管，所述外压电管为四象限的XYZ三维定位压电管，内压电管的两端分别与外压电管的两端相互固定，且各压电管上的电容保持不变，形成双管嵌套机械并联结构。
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