[发明专利]一种一键式激活数据收集项目的方法

摘要

本发明公开了一种一键式激活数据收集项目的方法，包括步骤S1：对工艺项目进行量测；步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。本发明能减少激活生效时间，使用方便快捷，通过一键控制的方式来完成，系统能自动把所有选择项目执行冻结激活，提高作业效率。

主权项

一种一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：包括步骤S1：对集成电路生长过程和器件的制造过程中的工艺项目进行量测；步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。