[发明专利]一种制备镀膜玻璃的方法及装置在审
| 申请号： | 201711193144.3 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108046612A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 刘涌;韩高荣;林威豪;汪建勋;马晔城;宋晨路 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/25;C23C18/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备镀膜玻璃的方法及装置，涉及化学气相沉积镀膜与浮法玻璃深加工技术领域，制备镀膜玻璃的方法包括以下步骤：将前驱物溶解在合适的溶剂中，形成源溶液，利用超声波为雾化源，将源溶液转变为微米级的雾滴，其后小雾滴被输运至反应区，经过蒸发、分解、均相或异相反应制备所需的薄膜。与传统的CVD过程相比，并不要求前驱物具有良好的挥发性，只要能够溶解在容易产生气溶胶的溶剂中即可，采用单一溶液源，只需将各组分的前驱物配制成混合溶液，就可以使前驱物充分混合达到对薄膜组分的准确控制，从而使得前驱体的供给及输运过程更为简化，并且使前驱物在较低的温度下以很快的速度沉积薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 镀膜 玻璃 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种制备镀膜玻璃的方法，其特征在于，包括以下步骤：将前驱物溶解在合适的溶剂中，形成源溶液，利用超声波为雾化源，将源溶液转变为微米级的雾滴，其后将小雾滴输运至反应室中进行镀膜反应。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711193144.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
