[发明专利]一种高效率纳米材料真空镀膜机

摘要

本发明公开了一种高效率纳米材料真空镀膜机，包括主泵、排气机构与机身，所述机身的下端活动安装有万向轮，且机身的前端外表面中间位置处设置有操作面板，所述操作面板的外表面固定安装有主泵开关，所述操作面板的外表面靠近主泵开关的一侧设置有辅助泵开关，且操作面板的外表面靠近主泵开关的另一侧设置有急停按钮，所述主泵固定安装在机身的上端外表面，所述主泵的上端外表面固定安装有玻璃钟罩，且主泵的下端外表面固定安装有辅助泵。该高效率纳米材料真空镀膜机，通过蒸发电源的蒸发电极的追加，可以实现同时蒸镀和多层蒸镀，解决了现有的生产效率低、产品组分均匀性不好的问题，同时排气装置易于移动，方便人员操作。

主权项

1.一种高效率纳米材料真空镀膜机，包括主泵(12)、排气机构(18)与机身(30)，所述机身(30)的下端活动安装有万向轮(1)，且机身(30)的前端外表面中间位置处设置有操作面板(2)，所述操作面板(2)的外表面固定安装有主泵开关(8)，所述操作面板(2)的外表面靠近主泵开关(8)的一侧设置有辅助泵开关(9)，且操作面板(2)的外表面靠近主泵开关(8)的另一侧设置有急停按钮(10)，所述主泵(12)固定安装在机身(30)的上端外表面，所述主泵(12)的上端外表面固定安装有玻璃钟罩(5)，且主泵(12)的下端外表面固定安装有辅助泵(11)，所述主泵(12)的一侧外表面固定安装有一号不锈钢波纹管(6)，且主泵(12)的一侧外表面靠近玻璃钟罩(5)的上方固定安装有主泵真空表(29)，所述一号不锈钢波纹管(6)的下方设置有三通阀门(7)，所述玻璃钟罩(5)的下端外表面靠近主泵(12)的一侧固定安装有单向阀门(4)，且玻璃钟罩(5)的内部中间位置处设置有基板(21)，所述玻璃钟罩(5)靠近下端的四周固定安装有维修孔(14)，相邻两组所述维修孔(14)之间设置有蒸发电极(15)，所述蒸发电极(15)通过嵌入式对称安装在玻璃钟罩(5)的内部，所述维修孔(14)的一侧分别设置有真空计孔(23)与真空密封孔(22)；所述机身(30)的内部靠近辅助泵(11)的一侧设置有蒸发电源(13)，所述排气机构(18)设置在机身(30)的内部靠近辅助泵(11)的另一侧，所述蒸发电源(13)的前端外表面设置有蒸发电源开关(24)，所述蒸发电源(13)的前端外表面靠近蒸发电源开关(24)的一侧固定安装有蒸发电源提手(25)，且蒸发电源(13)的前端外表面靠近蒸发电源开关(24)的另一侧固定安装有显示屏(27)，所述蒸发电源(13)的前端外表面靠近蒸发电源开关(24)的下方设置有散热孔(26)，所述蒸发电源(13)的前端外表面靠近显示屏(27)的下方设置有参数调节键(28)，所述排气机构(18)的下方设置有底座(20)，且排气机构(18)的下端设置有脚轮(19)，所述机身(30)的后端外表面靠近排气机构(18)的位置处固定安装有排气口(17)。