[发明专利]一种压力控制系统及控制方法在审
| 申请号： | 201711195599.9 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107881306A | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王青春;张永军 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创磁电科技有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/773 | 分类号： | C21D1/773;C21D11/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 王莹,吴欢燕 |
| 地址： | 100027 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力控制系统，包括真空室、气源、多级真空泵组和控制单元；真空室通过进气管路与气源连通，且进气管路上设有进气阀；真空室通过抽气管路与多级真空泵组连通，且抽气管路上设有高真空阀；进气阀、高真空阀与多级真空泵组分别与控制单元连接，控制单元根据目标控制压力的大小，控制多级真空泵组的抽速，以实现真空炉内的压力调节。本发明提供一种压力控制方法，包括步骤获取目标控制压力；根据目标控制压力与预设值，控制高抽速泵组与低抽速泵组的启闭，若目标控制压力高于预设值，则高抽速泵组关闭，低抽速泵组开启；若目标控制压力低于预设值，则高抽速泵组与低抽速泵组均开启。无需改变进气量，成本低；且压力控制范围大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种压力控制系统，其特征在于，包括真空室、气源、多级真空泵组和控制单元；其中，所述真空室通过进气管路与所述气源连通，且所述进气管路上设有进气阀；所述真空室通过抽气管路与所述多级真空泵组连通，且所述抽气管路上设有高真空阀；所述进气阀、高真空阀与多级真空泵组分别与所述控制单元连接，所述控制单元根据目标控制压力的大小，控制所述多级真空泵组的抽速，以实现所述真空炉内的压力调节。
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