[发明专利]用于调整模板的位置的系统和方法有效
| 申请号： | 201711200016.7 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN108121171B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 崔炳镇;水野诚 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于调整模板的位置的系统和方法。用于调整模板的相对位置的方法、系统和装置包括：确定第一模板的有效区域的相邻区域的表面的第一多个位置点，所述相邻区域的表面和有效区域的表面形成第一模板的连续表面；基于第一多个位置点识别第一模板的所述相邻区域的表面的平面；确定第二模板的有效区域的表面的第二多个位置点，第二模板的有效区域从第二模板的表面突出；基于第二多个位置点识别第二模板的有效区域的表面的平面；和基于识别的平面，调整第一模板和第二模板的相对位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调整 模板 位置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于调整第一压印光刻模板与第二压印光刻模板的相对位置的方法，其特征在于，所述方法包括：确定第一模板的有效区域的相邻区域的表面的第一多个位置点，所述相邻区域的表面和有效区域的表面形成第一模板的连续表面；基于第一多个位置点识别第一模板的所述相邻区域的表面的平面；确定第二模板的有效区域的表面的第二多个位置点，第二模板的有效区域从第二模板的表面突出；基于第二多个位置点识别第二模板的有效区域的表面的平面；以及基于第一模板的所述相邻区域的表面的平面和第二模板的有效区域的表面的平面，调整第一模板和第二模板的相对位置。
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