[发明专利]一种显示设备、显示基板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种显示设备、显示基板及其制作方法，该显示基板包括半导体有源层，该半导体有源层包括第一半导体氧化层与第二半导体氧化层，且第一半导体氧化层位于第二半导体氧化层与衬底基板之间，第一半导体氧化层的导电率低于第二半导体氧化层的导电率，第二半导体氧化层可在蚀刻源漏极金属层时，保护第一半导体氧化层以使其不受损伤。本发明可减少一次光刻工艺，也使得在蚀刻源漏极金属层时，半导体有源层不会受到损伤。

主权项

一种显示基板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板的一侧设置第一半导体氧化层；在所述第一半导体氧化层的远离所述衬底基板的一面上设置第二半导体氧化层；在所述第二半导体氧化层上形成源漏极金属层；其中，所述第一半导体氧化层的导电率低于所述第二半导体氧化层的导电率，所述第二半导体氧化层可在蚀刻源漏极金属层时，作为保护层保护第一半导体氧化层以使其不受损伤。