[发明专利]一种柔性阵列基板及其制作方法

摘要

本发明提供了一种柔性阵列基板及其制作方法，所述阵列基板包括玻璃基板、柔性衬底基板、缓冲层、有源层、栅绝缘层、第一金属层、间绝缘层、柔性有机层、第二金属层以及钝化层；其中，所述柔性有机层包括至少两个第一过孔，所述第一过孔依次穿过所述间绝缘层、所述栅绝缘层以及所述缓冲层。有益效果：通过在相邻的薄膜晶体管之间设置连续的所述第一过孔，并在所述第一过孔中填充所述柔性有机材料，使得所述柔性显示面板具有更强的耐弯折性，保证了所述柔性显示面板在小曲率半径下的显示效果。

主权项

一种柔性阵列基板，其特征在于，包括：玻璃基板；柔性衬底基板，形成于所述玻璃基板的表面；缓冲层，形成于所述柔性衬底基板的表面；有源层，形成于所述缓冲层的表面；栅绝缘层，形成于所述有源层的表面，所述栅极绝缘层将所述有源层与所述缓冲层覆盖；第一金属层，形成于所述栅绝缘层表面，所述第一金属层经图案化处理，形成薄膜晶体管的栅极与栅线；间绝缘层，形成于所述第一金属层表面，所述间绝缘层将所述第一金属层与所述栅绝缘层覆盖；以及柔性有机层，形成于所述间绝缘层表面；第二金属层，形成于所述柔性有机层表面，所述第二金属层经图案化处理，形成源电极和漏电极，所述源电极包括第二过孔，所述漏电极包括第三过孔；钝化层，形成于所述第二金属层表面；其中，所述柔性阵列基板还包括至少两个第一过孔，所述第一过孔中所填充的材料与所述柔性有机层的材料相同。