[发明专利]一种大型重载超精密卧式空心气浮转台有效

专利信息
申请号: 201711201995.8 申请日: 2017-11-24
公开(公告)号: CN107953117B 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 李增强;潘鑫;石玮;赵双 申请(专利权)人: 哈工大机器人集团(哈尔滨)华粹智能装备有限公司
主分类号: B23Q1/25 分类号: B23Q1/25
代理公司: 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 代理人: 高媛
地址: 150001 黑龙江省哈尔滨*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种大型重载超精密卧式空心气浮转台,属于大型超精密工件的加工技术领域。主轴的一端与副轴通过主轴修研环连接,主轴与副轴同轴设置,主轴外侧沿轴向装有两个气浮轴承,两个气浮轴承与主轴同轴设置且二者之间留有间隙,两个气浮轴承通过花岗岩基座支撑,花岗岩基座内部设有多个相互连通的通气孔,每个气浮轴承内部设有多个相互连通的气槽,设置在花岗岩基座内部的多个通气孔与外部气源连通的同时,还与每个气浮轴承的多个气槽连通,电机转子座固定装在主轴另一端上,直驱电机的定子部分通过电机定子座固定在花岗岩基座上,直驱电机的转子部分安装在电机转子座上,圆光栅和绝对值圆光栅均安装在电机定子座上。本发明用于大型超精密工件的加工。
搜索关键词: 一种 大型 重载 精密 卧式 心气 转台
【主权项】:
1.一种大型重载超精密卧式空心气浮转台,其组成包括直驱电机(1)、主轴(5)、电机转子座(2)及电机定子座(7),所述的直驱电机(1)包括定子部分和转子部分,所述的主轴(5)水平设置,其特征在于:所述的大型重载超精密卧式空心气浮转台还包括圆光栅(3)、绝对值圆光栅(4)、花岗岩基座(8)、主轴修研环(9)、副轴(10)及两个气浮轴承(6);主轴(5)的一端与副轴(10)通过主轴修研环(9)连接,主轴(5)与副轴(10)同轴设置,主轴(5)外侧沿轴向装有两个气浮轴承(6),所述的两个气浮轴承(6)与主轴(5)同轴设置,且两个气浮轴承(6)与主轴(5)之间均留有间隙,两个气浮轴承(6)通过花岗岩基座(8)支撑,所述的花岗岩基座(8)内部设有多个相互连通的通气孔(11),每个气浮轴承(6)内部设有多个相互连通的气槽(12),设置在花岗岩基座(8)内部的多个通气孔(11)与外部气源连通的同时,还与每个气浮轴承(6)的多个气槽(12)连通,所述的电机转子座(2)固定装在主轴(5)另一端上,所述的直驱电机(1)的定子部分通过电机定子座(7)固定在花岗岩基座(8)上,直驱电机(1)的转子部分安装在电机转子座(2)上,所述的圆光栅(3)和绝对值圆光栅(4)均安装在电机定子座(7)上。
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